光柵有兩種形式，一是透射光柵，即在一條透明玻璃片上刻有一系列等間隔密集線紋；二是反射光柵，即在長條形金屬鏡畫上制成全反射或漫反射間隔相等的密集條紋。

對光柵的維護要點如下：

（1）防污

1、光柵由于直接安裝于工作臺和機床床身上，因此極易受到冷卻液的污染，從而造成信號丟失，影響位置控制精度。

2、冷卻液在使用過程中會產生輕微結晶，這種結晶在掃描頭上形成一層薄膜且透光性差，不易清除，故在選用切削液時要慎重。

3、加工過程中，切削液的壓力不要太大，流量不要過大，以免形成大量的水霧進入光柵。

4、數控切割機光柵檢查裝置最好通入低壓壓縮空氣，以免掃描頭運動時形成的負壓把污物吸入光柵。

（2）防振光柵拆裝時要用靜力，不能用硬物敲擊，以免引起光學元件的損壞。